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精密加工設備
精密機床加工精度的要求日益提高。采用納米技術,可以使機器在剪切、旋轉(zhuǎn)、拋光和定位時到達微米級甚至埃及(0.1納米)的精度。
高精度機床
超高精度的設備在許多行業(yè)中應用,包括半導體晶片加工、光學/鏡頭加工和非標材料的加工。
高精度定位設備包括鉆石車削機床、X-Y坐標機和CD計量儀,通常用激光干涉法對材料定位,用以進行納米指標檢測。此外,如表面光度儀,輪廓度儀,粗糙度儀和圓度儀等設備需要提供亞微米級的測量。
超精密運動平臺
設備功能包含對光學玻璃,晶體,非鐵金屬,高分子材料和陶瓷材料的超精密車削和微磨。通常上述材料的表面需要加工到不需要或(需要少量)拋光就達到亞微米級的表面光滑度。例如CD,隱形眼鏡模具,光學鏡片和激光鏡等就是這樣加工出來的。
高端檢測設備
此類設備如三座標檢測,為檢測超高精度產(chǎn)品,減少振動對零件檢測造成的誤差,必須加上隔振器即可滿足終端客戶的要求。
光學平臺設備
隔振器能有效隔離振動對光學設備的影響,提供高清圖像采集的效率,避免重影,提高圖像采集的精確度。
半導體行業(yè)
半導體設備是指光刻機、晶圓檢測設備等,這類設備的精度要求都非常高,對振動均非常敏感,通常需求主動隔振器才能滿足要求,也有檢測類設備被動隔振器即可滿足。這類設備的隔振器是標配產(chǎn)品,隔振器能抑制振對設備運行的影響,保證設備的穩(wěn)定性和納米精度要求。